百级无尘车间净化


发布时间:2021-01-20 10:09

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百级无尘车间净化

 
        一、百级、千级、万级、十万级、三十万级的洁净度区别
       市场上比较常见的无尘车间洁净度级别有百级、千级、万级、十万级、三十万级。百级、千级、万级定义是单位立方英尺空气中含有的直径不小于0.5μm的尘埃粒子个数分别不大于100个、1000个、10000个。百级、千级、万级无尘车间的最主要的区别,就在于空气中各粒径档大容许粒子浓度不一样。
1. 百级无尘车间0.5微米的大容许粒子浓度小于3520(pc/m3),5微米的大容许粒子浓度小于293(pc/m3)。
2. 千级无尘车间0.5微米的大容许粒子浓度小于35200(pc/m3),5微米的大容许粒子浓度小于2930(pc/m3)。
3. 万级无尘车间0.5微米的大容许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的大容许粒子浓度小于29300(pc/m3)。
也就是说百千万是只灰尘数量,自然的级别数值越小,等级越高。百级无尘车间已经是净化级别里边净化指数很高,各项技术很高的净化空间。
      二、无尘车间设计装修工作原理:
采用垂直单向流的气流形式,送风先要通过初效过滤器进行预过滤,将气流中的大颗粒粉尘粒子处理掉。经过预处理后的空气,再经过高效过滤器进行二次过滤,以起到充分保护高效过滤器的作用。在离心风机提供的压力下,通过高效过滤器,使之达到洁净要求。所有气流均经过高效过滤器处理,所以送风,排风均不带残余粉尘,避免了二次污染。由于在工作区域形成稳定的单向流,起到保护外部环境的作用。
       三、百级无尘车间设计装修标准
按照国际上的惯例,无尘车间设计装修的洁净级别主要是根据每立方米的空气当中粒子的直径大于标准的数量来规定的。也就是把微粒控制在一个非常小的单位上,在常规当中就是说符合微粒的颗粒在我们常见的灰尘当中是小的微乎其微,而对于那些生产上来说,哪怕一点点的,很少很少的灰尘也会产生很坏的负面影响的。国际上百级无尘车间设计装修的标准的A级就是每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下。
当前,在芯片生产加工上的无尘标准的要求就是要高于A级的,像这样的高的要求标准主要是被应用在在一些等级较高芯片生产上,而业内称之为的1K级别的就是微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内。
       四、百级净化车间设计参数
1. 温度:22℃±2;湿度:55%±5;基本需要满布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系统。还有保持正压,相邻房间压力梯度保证在10pa左右。
2. 百级无尘车间若非得用换气次数来衡量的话200次/h以上,百级无尘车间若是以层流风速来说的话>0.35 m/s,
3. 百级无尘车间若以HEPA高效空气过滤器对吊顶覆盖率的话>50%。
      五、百级无尘车间设计装修后的人员进出规范
百级无尘车间设计装修进入过滤器无尘车间人员必须穿着无尘服与无尘鞋,并严格按以下顺序进入过滤器无尘车间:
1、戴上无尘帽(头发不可露出)。
2、戴上无尘口罩。
3、穿着无尘衣(拉上拉链后,扣好颈部头罩)。
4、穿上无尘鞋。
5、戴上手套(衣袖口须包住手套口)。
6、着装完成照镜检查服装仪容。
7、进入风淋室。
8、进入ZC风淋室双门互锁后自动吹淋,听从风淋室语音提示,摆动身体,吹净时间15秒。
9、在过滤器无尘车间设计装修后,动作宜轻缓、以免影响层流及生产大量微尘。
10、工厂稽查小组对过滤器无尘车间洁净纪律,每日不定期稽查并记录分配各班组改善。

 
 

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